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技術文章

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20262-26

掌握無塵烘箱規(guī)范使用方法是保障工藝純凈與運行可靠的核心

無塵烘箱作為半導體、生物制藥、精密電子等高潔凈領域的設備，不僅需提供穩(wěn)定溫控，更須在高溫下維持內(nèi)部空氣潔凈度（通常達ISOClass5/百級）。其操作遠非普通烘箱可比，稍有疏忽便可能導致樣品污染、設備損壞甚至安全事故。掌握無塵烘箱科學、規(guī)范的使用方法，是保障工藝純凈與運行可靠的核心。一、使用前準備環(huán)境確認：安置于潔凈室或?qū)Ｓ脻崈艄ぷ鲄^(qū)內(nèi)，避免在多塵、高濕或強振動環(huán)境中使用；確保供電電壓穩(wěn)定，接地良...

為什么HMDS烘箱處理后可以增粘

HMDS烘箱也稱為智能型HMDS真空系統(tǒng)，HMDS預處理系統(tǒng)等。半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面的氧化物的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的濕度下、足夠長時間后在其表面形成極性OH鍵。這種襯...

2022-10-08
超低溫試驗箱的低溫控制方式

超低溫試驗箱是利用液氮作為冷卻介質(zhì)，進行深冷試驗，從而改善檢測樣品部分性能，適用于產(chǎn)品低溫環(huán)境下檢測各項性能指標。是航空、汽車、家電、科研等領域常備的測試設備，用于測試和確定電工、電子及其他產(chǎn)品及材料進行高溫、低溫、或恒定試驗的溫度環(huán)境變化...

2022-09-21
PI/BCB固化真空無氧烘箱操作方法

PI/BCB固化真空無氧烘箱操作方法開機前注意檢查，循環(huán)水是否打開（壓力足夠），氮氣閥門是否打開（壓力足夠）1.打開設備電源開關，人機界面啟動；2.在人機界面參數(shù)設定中編輯需求工藝；3.返回主界面，選擇工藝序號；4.選擇程式運行，確認運行；...

2022-09-15
微小型高低溫箱的安全性操作規(guī)范

微小型高低溫箱的箱體采用數(shù)控機床加工成型，造型美觀大方并采用無反作用把手，操作簡便。它主要是用于儀器，儀表，電子，電工等產(chǎn)品的高溫低溫的產(chǎn)品交替變化下對于產(chǎn)品性能的影響。微小型高低溫箱安全性操作規(guī)范如下：1、可靠性務必與高低溫檢測室的制冷機...

2022-08-17
選購無塵烤箱時一定要重點考慮的4個問題

無塵烤箱箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)，經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾，使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。無塵烤箱工作室為不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。無...

2022-07-22
HMDS烤箱，HMDS真空烘箱的由來

HMDS烤箱，HMDS真空烘箱的由來半導體工藝中需要在各種襯底上進行光刻膠涂布，黏附性是否良好是最大的問題。黏附差導致嚴重的側(cè)面腐蝕，線條變寬，甚至有可能導致圖形全部消失，濕法刻蝕技術要求光刻膠與下面的襯底有很好的黏附性。提高光刻膠與襯底之...

2022-05-27
淺析超低溫試驗箱的特點

性能特點：1、具有極寬的溫度控制范圍從-150℃～+150℃的溫區(qū)選用，可滿足用戶的各種需要。2、采用*的平衡調(diào)溫方式，可調(diào)節(jié)理想的溫度環(huán)境，具有穩(wěn)定平衡式加熱能力，可進行高精密、高穩(wěn)定的溫度控制。3、溫度控制采用自主研發(fā)可編程控制儀表。4...

2022-05-25
真空無氧烘箱--BCB光刻膠熱處理固化爐的應用

新材料是高新技術發(fā)展的先導和基礎。新型高性能聚合物和功能聚合物的出現(xiàn)，為飛速發(fā)展的微電子學提供了動力。BCB作為一類高性能聚合物，以它*的性質(zhì)，將會被越來越多地使用。BCB是具有優(yōu)良的熱穩(wěn)定性、化學穩(wěn)定性、電絕緣性和機械強度的高性能材料。在...

2022-05-17
光刻膠粘附力對MEMS工藝影響--HMDS處理設備

光刻膠粘附力對MEMS工藝影響--HMDS處理設備在MEMS產(chǎn)品的研發(fā)過程中，在PZ層去膠之后發(fā)現(xiàn)有嚴重的側(cè)向腐蝕現(xiàn)象。這種現(xiàn)象可以直接從顯微鏡目檢中檢查出，而且在整個晶圓的表面呈現(xiàn)無規(guī)則的分布。同一批次的產(chǎn)品都會出現(xiàn)這種過腐蝕現(xiàn)象，同一片...

2022-05-09
潔凈烘箱在集成電路制造中的用途

集成電路封裝：指安裝集成電路芯片用的外殼。它不僅起著安裝、固定、密封、保護芯片及增強電熱性能等方面的作用，而且還通過芯片上的接點用導線連接到封裝外殼的引腳上，這些引腳又通過印刷電路板上的導線與其他器件相連接。集成電路測試：指通過目檢或物理測...

2022-05-07

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